Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.

Рис.5.6.Турбомолекулярный насос:

а)–устройство; б)–рабочий механизм; 1–корпус; 2,6–неподвижные статорные и подвижные роторные диски соответственно; 3–подшипники; 4–вал; 5–электродвигатель; 7,8–патрубки для соединения с форвакуумным насосом и откачиваемым объемом.

 

Турбомолекулярный насос работает при создании форвакуума в выпускном патрубке не более 10² Па. При этом в первый период быстрота действия его мала, потребляемая мощность велика и он сильно нагревается.

Принцип действия турбомолекулярного насоса основан на сообщении направленной кинетической энергии молекулам откачиваемого газа быстро вращающимися поверхностями ротора(10000 об/мин). При работе насоса возможен частичный пролет молекул в обратном направлении. Отношение вероятностей пролета молекул любого газа в прямом и обратном направлениях характеризуется степенью сжатия данного газа насосом.

Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.

Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования

Привод станка осуществляется от электродвигателя М, через пару шестерен 5, червячную пару 4 и обгонную муфту 3. Далее через перебор 2 вращение передается на внешнюю 1 и внутреннюю 6 ведущие шестерни. Верхний шлифовальник 8, на поднимающейся крышке 10, из дозатора 9 через отверстие в шлифовальнике, в зону обработки подается абразивная суспензия.

Шлифовальники изнашиваются неравномерно, поэтому наладчики контролируют их поверхность.

Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.

Рис.6.15.Полуавтомат полирования пластин:

1-пневмоцилиндр;2-дозатор;3-диск;4-блок;5-полировальный стол;6-карусель;

7-сборный-блок;8-насос;9-электродвигатель;10-фильтр;11-редуктор; 12-манометр;13-клапан;14-дроссель;15-обратный клапан.

Назначение.

Полуавтомат полирования пластин (рис.6.15) предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм.

Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. Полуавтомат имеет 4 прижимных диска 3, закрепленных на штоках пневматических цилиндров 1,в шариковых подшипниках; диски могут свободно устанавливаться на поверхности полировального стола 5.

Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от электродвигателя 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес.

Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин; при этом, прижимные диски так же начинают вращаться,за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8.

Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневматическими цилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима манометром 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин.

Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус ЭМ-4085.

Назначение.

Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085 (рис.14.1) предназначен для присоединения кристаллов к корпусам ИС методом эвтектической пайки или с помощью клея.

Принцип действия.

Принцип действия основан на поиске годных кристаллов, съёме кристалла с адгезионного носителя, укладки его на планку кресто­вины,съёма кристалла с планки крестовины на рабочую позицию и присоединения кристалла на основание методом эвтектической пайки или с помощью токопроводящего клея.

Рис. 14.1.Схема общего вида установки ЭМ-4085:

1-опоры;2-стол электрооборудования;3- блок питания;4 - блок управления пневматикой;5-блок управления техническим зрением;6- пульт управления; 7 – магазин падающей/приемной кассет;8–загрузочно /разгрузочное устройство (ЗРУ);9–видео-контрольное устройство;10–дозатор;11–источник света к МТ-2; 12–видикон (датчик телевизионный);13–микроскоп МТ-2;14 – фонарь; 15– опора;16–осветитель; 17 – ориентатор;18–кассета (пяльцы) с наклеенной, разделенной на кристаллы, пластиной;19–предметный столик;20 – индуктор ЛШД; 21–статор ЛШД.