Заглавная страница Избранные статьи Случайная статья Познавательные статьи Новые добавления Обратная связь КАТЕГОРИИ: АрхеологияБиология Генетика География Информатика История Логика Маркетинг Математика Менеджмент Механика Педагогика Религия Социология Технологии Физика Философия Финансы Химия Экология ТОП 10 на сайте Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрацииТехника нижней прямой подачи мяча. Франко-прусская война (причины и последствия) Организация работы процедурного кабинета Смысловое и механическое запоминание, их место и роль в усвоении знаний Коммуникативные барьеры и пути их преодоления Обработка изделий медицинского назначения многократного применения Образцы текста публицистического стиля Четыре типа изменения баланса Задачи с ответами для Всероссийской олимпиады по праву Мы поможем в написании ваших работ! ЗНАЕТЕ ЛИ ВЫ?
Влияние общества на человека
Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрации Практические работы по географии для 6 класса Организация работы процедурного кабинета Изменения в неживой природе осенью Уборка процедурного кабинета Сольфеджио. Все правила по сольфеджио Балочные системы. Определение реакций опор и моментов защемления |
Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.Стр 1 из 5Следующая ⇒
Опишите фазы основного производства ИС и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз. Первая фаза. Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости, резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка. Вторая фаза. Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка, наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное легирование, ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине. Третья фаза. Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация, контроль электро параметров, маркировка, упаковка. Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз. 1. Очистка среды. Подготовка дионизованнои воды, химреактивов, очистка газов, очистка среды в производственном помещении. 2. Изготовление инструмента. Фотошаблонов, сварочного инструмента, инструмента посадки. 3. Изготовление вспомогательных узлов и деталей. Корпус, выводные рамки. Классификация помещений по микроклимату и запылённости. Стандартом установлено следующее разделение производственных Помещений и рабочих объемов в зависимости от максимальной концентрации частиц в 1 л воздуха: 1 – 0,035; 10 – 0,35; 100 – 3,5; 1000 – 35; 10000 – 350; 100000 – 3500. Этим же стандартом определен единый минимальный размер аэрозольных частиц в воздушной среде производственных помещений и технологических газах, равный 0,5 мкм. В зависимости от характера выполняемых работ относительная влажность воздуха производственных помещений должна поддерживаться в диапазоне 40—60 %, а температура — от 20 до 27 °С. Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции. Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б): 1 - перфорированная решетка, 2 - высокоэффективный фильтр, 3 - воздухозаборная решетка с фильтром предварительной очистки воздуха, 4 - вентилятор, 5 - подъемная стеклянная шторка, 6, 7 - отверстие и воздуховод для удаления загрязненного воздуха
Высокоэффективный фильтр занимает верхнюю часть камеры. За фильтром расположена перфорированная решетка 1, делящая на отдельные струи воздушный поток, ламинарность которого создается при скоростях 0,2—0,5 м/с..
Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы Азота (УГОА) с использованием схемы УГОА. Схема установки очистки газов: 1 - ротаметры, 2 - дозатор водорода, 3,4 - реакторы с палладированным алюмогелем и оксидом меди, 5 - холодильник, 6 - фильтр, 7 - адсорберы, 8 - вентили, 9 - подогреватели воздуха (азота) для регенерации Очищаемый водород через ротаметр 1 подают в реактор 3 с палладированным алюмогелем, где происходит каталитическое связывание кислорода с водородом, в результате которого образуется вода. При очистке азота и аргона от кислорода водород специально в оптимальных количествах вводят в реактор 3 через ротаметр 1 и дозатор 2. Чтобы исключить конденсацию образовавшейся воды, реактор подогревают. Очистка газов от водорода происходит в реакторе 4 с оксидом меди, нанесенным на активный глинозем. При этом свободный водород, вступая во взаимодействие с оксидом меди, восстанавливает его с образованием воды Для окончательной осушки очищаемых газов служат два работающих поочередно адсорбера 7, заполненные в зависимости от необходимой степени осушки силикагелем или цеолитом Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(УГОВ) с использованием схемы УГОВ. Схема установки длядиффузионной очистки водорода Очищаемый технический водород через механический фильтр Ф и редуктор РД подают в печь с трубчатым водородным фильтром ПФ, который подогревают электронагревателем. Очищаемый газ нагревается и диффундирует из полости А через стенки трубок из палладиевого сплава в полость Б. Очищенный газ далее поступает в охладитель ОХЛ и через вентиль подается к потребителю. Часть водорода с концентрированным содержанием примесей удаляется из фильтра через трубку 1, охладитель, ротаметр Р и клапан и подается в скруббер для сжигания. Давление очищаемого и чистого газов контролируется мановакууметрами MB. Перед началом работы установки через ее рабочий объем пропускают инертный газ, а затем откачивают до давления около 1 Па (10-2 мм. рт. ст.) После включения нагревателя и прогрева трубчатого фильтра откачка отключается и начинается, подача водорода.
Назначение. Полуавтомат полирования пластин (рис.6.15) предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм. Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. Полуавтомат имеет 4 прижимных диска 3, закрепленных на штоках пневматических цилиндров 1,в шариковых подшипниках; диски могут свободно устанавливаться на поверхности полировального стола 5. Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от электродвигателя 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес. Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин; при этом, прижимные диски так же начинают вращаться,за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8. Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневматическими цилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима манометром 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин. Принцип действия. Принцип действия основан на поиске годных кристаллов, съёме кристалла с адгезионного носителя, укладки его на планку крестовины,съёма кристалла с планки крестовины на рабочую позицию и присоединения кристалла на основание методом эвтектической пайки или с помощью токопроводящего клея.
Рис. 14.1.Схема общего вида установки ЭМ-4085: 1-опоры;2-стол электрооборудования;3- блок питания;4 - блок управления пневматикой;5-блок управления техническим зрением;6- пульт управления; 7 – магазин падающей/приемной кассет;8–загрузочно /разгрузочное устройство (ЗРУ);9–видео-контрольное устройство;10–дозатор;11–источник света к МТ-2; 12–видикон (датчик телевизионный);13–микроскоп МТ-2;14 – фонарь; 15– опора;16–осветитель; 17 – ориентатор;18–кассета (пяльцы) с наклеенной, разделенной на кристаллы, пластиной;19–предметный столик;20 – индуктор ЛШД; 21–статор ЛШД. Назначение. Диффузионные паромасляные насосы предназначены для создания высокого вакуума. Принцип действия основан на том, что пары масла по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса. Трехступенчатый диффузионный паромасляный насос Н-2Т (рис. 5.7), применяемый в некоторых напылительных установках, состоит из корпуса1, паропровода, состоящего из трех ступеней 2,3,4, электронагревателя 5, маслоотражателя11. Корпус насоса, представляющий собой стальной цилиндр 1 с приваренным к нему днищем, имеет впускной 9 и выпускной 10 патрубки с фланцами. С наружной стороны цилиндра и выпускного патрубка приварены последовательно соединенные между собой водяные рубашки 7, в которые через штуцер подается вода. Все присоединенные фланцы имеют крепежные отверстия и канавки для уплотнительных прокладок.
Нижняя часть корпуса насоса служит кипятильником 12, нагреваемым электронагревателем 5. Паропровод состоит из трех ступеней. При работе насоса пары масла13 из кипятильника по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса. При этом конденсат стекает вниз по стенкам корпуса обратно в кипятильник к центру дна, а откачиваемый газ направляется к выходному патрубку 10. Назначение. Автомат предназначен для присоединения по заданной программе проволочных выводов к металлизированным контактным площадкам кристалла и корпуса внахлестку без подогрева изделий. Принцип действия. Принцип действия основан на методе ультразвуковой сварки с осуществлением подачи в рабочую зону прибора, предназначенного к разварке, распознавании и определении положения кристалла и корпуса, выполнении разварки по введенным координатам в режиме “Самообучение”.
Рис.15.3.Автомат ультразвуковой микросварки ЭМ-4020Б: 1-генератор ультразвуковой; 2- блок управления;3-контроллер загрузочно-разгрузочного устройства; 4-блок управления загрузочно-разгрузочного устройства; 5-устройство распределительное; 6-корпус блока (резервный); 7-блок вычислительный; 8-стол электрооборудования; 9-плита; 10-устройство загрузочно-разгрузочное;11-блок управления;12-устройство видеоконтрольное; 13-блок питания;14-датчик телевизионный;15- блок оптический;16-устройство микросварки;17-пульт оператора;18-ролик;19-опора;20-винт заземления. Назначение. Установка УНЭС-100(рис.8.2) предназначенная для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы. Принцип действия. Принцип действия основан на восстановлении тетрахлорида кремния в газообразном водороде с последующим осаждением кремния на подложку.
Реактор установки выполнен по вертикальной схеме и включает охлождаемый водой колпак 1, рассекатель 2 для равномерного распределения ПГС, подложкодержатель 5 в виде полого графитового цилиндра, закрепленного через кварцевую подставку 8 на механизме вращения 11. На внешней поверхности подложкодержателя выполнены наклонные гнезда для пластин 6, а внутри него размещен кварцевый стакан 3 с ВЧ-индуктором 4. Подача ПГС,водорода производится через штуцер в нижнем фланце.
Назначение. Скруббер (рис.8.4) предназначен для адсорбционного улавливания водой токсичных веществ и сжигания очищенного водорода. Скруббер представляет собой устройство, состоящее из двух параллельно работающих аппаратов, каждый из которых имеет две ступени: верхнюю 6 и нижнюю 2, соответственно служащие для сжигания очищенного водорода и адсорбционного улавливания водой хлорида водорода и тетрахлорида кремния. В случае погасания пламени в камере сжигания выходящие из скруббера газы должны быть разбавлены воздухом в соотношении 1:50 по отношению к максимальному количеству водорода.
Рис. 8.4. Скруббер установки эпитаксиального наращивания УНЭС-100: 1–конус распределителя; 2,6–нижняя и верхняя ступени; 3–фильтр; 4–вентиль; 5,13–манометры,; 7–реле протока; 8–блокировочное устройство; 9–микровыключатель; 10–желоб; 11–рычаг; 12–свеча; 14–регулятор давления; 15–запальник; 16–штуцер; 17–бак; 18–гидрозатвор; 19–отработанные газы из реактора. Опишите устройство линейного шагового двигателя (ЛШД) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре. Координатный стол установки выполнен на базе линейного шагового двигателя (ЛШД). Рис. 11.8.Схемадвух координатного линейного шагового двигателя: 1-индуктор;2–канавки;3-плита из диабаза, статор координатного стола;4–лист из магнитомягкой стали; 5–жиклер;6-обмотка;7-магнит. Принцип действия линейного шагового двигателя (рис.11.8) основан на непосредственном преобразовании электромагнитной энергии в поступательное перемещение индуктора, размещенного на магнитной воздушной подвеске над плоской плитой статора.
Статор3 изготовлен из диабаза с наклеенным на нем листом из магнитомягкой стали 4, на верхней поверхности которого вдоль осей X и У нарезании канавки 2. Канавки заполнены немагнитным компаундом, после чего проводится шлифовка, обеспечивающая плоскопараллельность не хуже 5 мкм. Индуктор 1 выполнен в виде группы магнитов 7, заключённых в общий корпус. Магнитопроводы 6,9 и обмотки управления 5,8,предназначены для управления перемещением и позиционированием индуктора относительно пластины статора(Рис.11.9), используя сила магнитного взаимодействия между ними. Зазор между индуктором 1 и листом 4 (15-25 мкм.) создаётся благодаря уравновешиванию сил притяжения, создаваемых постоянными магнитами 7 и сил отталкивания, создаваемых сжатым воздухом, подаваемым под давлением 3*105 Па. через жиклер 5. Это обеспечивает исключение механического трения и точность позиционирования. Опишите фазы основного производства ИС и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз. Первая фаза. Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости, резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка. Вторая фаза. Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка, наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное легирование,
ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине. Третья фаза. Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация, контроль электро параметров, маркировка, упаковка.
|
|||||||||
Последнее изменение этой страницы: 2016-04-07; просмотров: 394; Нарушение авторского права страницы; Мы поможем в написании вашей работы! infopedia.su Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Обратная связь - 44.211.91.23 (0.025 с.) |