![]() Заглавная страница Избранные статьи Случайная статья Познавательные статьи Новые добавления Обратная связь КАТЕГОРИИ: ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ТОП 10 на сайте Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрацииТехника нижней прямой подачи мяча. Франко-прусская война (причины и последствия) Организация работы процедурного кабинета Смысловое и механическое запоминание, их место и роль в усвоении знаний Коммуникативные барьеры и пути их преодоления Обработка изделий медицинского назначения многократного применения Образцы текста публицистического стиля Четыре типа изменения баланса Задачи с ответами для Всероссийской олимпиады по праву ![]() Мы поможем в написании ваших работ! ЗНАЕТЕ ЛИ ВЫ?
Влияние общества на человека
Приготовление дезинфицирующих растворов различной концентрации Практические работы по географии для 6 класса Организация работы процедурного кабинета Изменения в неживой природе осенью Уборка процедурного кабинета Сольфеджио. Все правила по сольфеджио Балочные системы. Определение реакций опор и моментов защемления
|
Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.Стр 1 из 5Следующая ⇒
Опишите фазы основного производства ИС и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз. Первая фаза. Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости, резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка. Вторая фаза. Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка, наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное легирование, ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине. Третья фаза. Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация, контроль электро параметров, маркировка, упаковка. Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз. 1. Очистка среды. Подготовка дионизованнои воды, химреактивов, очистка газов, очистка среды в производственном помещении. 2. Изготовление инструмента. Фотошаблонов, сварочного инструмента, инструмента посадки. 3. Изготовление вспомогательных узлов и деталей. Корпус, выводные рамки. Классификация помещений по микроклимату и запылённости. Стандартом установлено следующее разделение производственных Помещений и рабочих объемов в зависимости от максимальной концентрации частиц в 1 л воздуха: 1 – 0,035; 10 – 0,35; 100 – 3,5; 1000 – 35; 10000 – 350; 100000 – 3500. Этим же стандартом определен единый минимальный размер аэрозольных частиц в воздушной среде производственных помещений и технологических газах, равный 0,5 мкм. В зависимости от характера выполняемых работ относительная влажность воздуха производственных помещений должна поддерживаться в диапазоне 40—60 %, а температура — от 20 до 27 °С. Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции. Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б): 1 - перфорированная решетка, 2 - высокоэффективный фильтр, 3 - воздухозаборная решетка с фильтром предварительной очистки воздуха, 4 - вентилятор, 5 - подъемная стеклянная шторка, 6, 7 - отверстие и воздуховод для удаления загрязненного воздуха
Высокоэффективный фильтр занимает верхнюю часть камеры. За фильтром расположена перфорированная решетка 1, делящая на отдельные струи воздушный поток, ламинарность которого создается при скоростях 0,2—0,5 м/с..
Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы Азота (УГОА) с использованием схемы УГОА. Схема установки очистки газов: 1 - ротаметры, 2 - дозатор водорода, 3,4 - реакторы с палладированным алюмогелем и оксидом меди, 5 - холодильник, 6 - фильтр, 7 - адсорберы, 8 - вентили, 9 - подогреватели воздуха (азота) для регенерации Очищаемый водород через ротаметр 1 подают в реактор 3 с палладированным алюмогелем, где происходит каталитическое связывание кислорода с водородом, в результате которого образуется вода. При очистке азота и аргона от кислорода водород специально в оптимальных количествах вводят в реактор 3 через ротаметр 1 и дозатор 2. Чтобы исключить конденсацию образовавшейся воды, реактор подогревают. Очистка газов от водорода происходит в реакторе 4 с оксидом меди, нанесенным на активный глинозем. При этом свободный водород, вступая во взаимодействие с оксидом меди, восстанавливает его с образованием воды Для окончательной осушки очищаемых газов служат два работающих поочередно адсорбера 7, заполненные в зависимости от необходимой степени осушки силикагелем или цеолитом Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(УГОВ) с использованием схемы УГОВ. Схема установки длядиффузионной очистки водорода Очищаемый технический водород через механический фильтр Ф и редуктор РД подают в печь с трубчатым водородным фильтром ПФ, который подогревают электронагревателем. Очищаемый газ нагревается и диффундирует из полости А через стенки трубок из палладиевого сплава в полость Б. Очищенный газ далее поступает в охладитель ОХЛ и через вентиль подается к потребителю. Часть водорода с концентрированным содержанием примесей удаляется из фильтра через трубку 1, охладитель, ротаметр Р и клапан и подается в скруббер для сжигания. Давление очищаемого и чистого газов контролируется мановакууметрами MB. Перед началом работы установки через ее рабочий объем пропускают инертный газ, а затем откачивают до давления около 1 Па (10-2 мм. рт. ст.) После включения нагревателя и прогрева трубчатого фильтра откачка отключается и начинается, подача водорода.
Назначение. Полуавтомат полирования пластин (рис.6.15) предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм. Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. Полуавтомат имеет 4 прижимных диска 3, закрепленных на штоках пневматических цилиндров 1,в шариковых подшипниках; диски могут свободно устанавливаться на поверхности полировального стола 5. Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от электродвигателя 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес. Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин; при этом, прижимные диски так же начинают вращаться,за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8. Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневматическими цилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима манометром 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин. Принцип действия. Принцип действия основан на поиске годных кристаллов, съёме кристалла с адгезионного носителя, укладки его на планку крестовины,съёма кристалла с планки крестовины на рабочую позицию и присоединения кристалла на основание методом эвтектической пайки или с помощью токопроводящего клея.
Рис. 14.1.Схема общего вида установки ЭМ-4085: 1-опоры;2-стол электрооборудования;3- блок питания;4 - блок управления пневматикой;5-блок управления техническим зрением;6- пульт управления; 7 – магазин падающей/приемной кассет;8–загрузочно /разгрузочное устройство (ЗРУ);9–видео-контрольное устройство;10–дозатор;11–источник света к МТ-2; 12–видикон (датчик телевизионный);13–микроскоп МТ-2;14 – фонарь; 15– опора;16–осветитель; 17 – ориентатор;18–кассета (пяльцы) с наклеенной, разделенной на кристаллы, пластиной;19–предметный столик;20 – индуктор ЛШД; 21–статор ЛШД. Назначение. Диффузионные паромасляные насосы предназначены для создания высокого вакуума. Принцип действия основан на том, что пары масла по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса. Трехступенчатый диффузионный паромасляный насос Н-2Т (рис. 5.7), применяемый в некоторых напылительных установках, состоит из корпуса1, паропровода, состоящего из трех ступеней 2,3,4, электронагревателя 5, маслоотражателя11. Корпус насоса, представляющий собой стальной цилиндр 1 с приваренным к нему днищем, имеет впускной 9 и выпускной 10 патрубки с фланцами. С наружной стороны цилиндра и выпускного патрубка приварены последовательно соединенные между собой водяные рубашки 7, в которые через штуцер подается вода. Все присоединенные фланцы имеют крепежные отверстия и канавки для уплотнительных прокладок.
Нижняя часть корпуса насоса служит кипятильником 12, нагреваемым электронагревателем 5. Паропровод состоит из трех ступеней. При работе насоса пары масла13 из кипятильника по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса. При этом конденсат стекает вниз по стенкам корпуса обратно в кипятильник к центру дна, а откачиваемый газ направляется к выходному патрубку 10. Назначение. Автомат предназначен для присоединения по заданной программе проволочных выводов к металлизированным контактным площадкам кристалла и корпуса внахлестку без подогрева изделий. Принцип действия. Принцип действия основан на методе ультразвуковой сварки с осуществлением подачи в рабочую зону прибора, предназначенного к разварке, распознавании и определении положения кристалла и корпуса, выполнении разварки по введенным координатам в режиме “Самообучение”. Рис.15.3.Автомат ультразвуковой микросварки ЭМ-4020Б: 1-генератор ультразвуковой; 2- блок управления;3-контроллер загрузочно-разгрузочного устройства; 4-блок управления загрузочно-разгрузочного устройства; 5-устройство распределительное; 6-корпус блока (резервный); 7-блок вычислительный; 8-стол электрооборудования; 9-плита; 10-устройство загрузочно-разгрузочное;11-блок управления;12-устройство видеоконтрольное; 13-блок питания;14-датчик телевизионный;15- блок оптический;16-устройство микросварки;17-пульт оператора;18-ролик;19-опора;20-винт заземления. Назначение. Установка УНЭС-100(рис.8.2) предназначенная для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы. Принцип действия. Принцип действия основан на восстановлении тетрахлорида кремния в газообразном водороде с последующим осаждением кремния на подложку.
Реактор установки выполнен по вертикальной схеме и включает охлождаемый водой колпак 1, рассекатель 2 для равномерного распределения ПГС, подложкодержатель 5 в виде полого графитового цилиндра, закрепленного через кварцевую подставку 8 на механизме вращения 11. На внешней поверхности подложкодержателя выполнены наклонные гнезда для пластин 6, а внутри него размещен кварцевый стакан 3 с ВЧ-индуктором 4. Подача ПГС,водорода производится через штуцер в нижнем фланце.
Назначение. Скруббер (рис.8.4) предназначен для адсорбционного улавливания водой токсичных веществ и сжигания очищенного водорода. Скруббер представляет собой устройство, состоящее из двух параллельно работающих аппаратов, каждый из которых имеет две ступени: верхнюю 6 и нижнюю 2, соответственно служащие для сжигания очищенного водорода и адсорбционного улавливания водой хлорида водорода и тетрахлорида кремния. В случае погасания пламени в камере сжигания выходящие из скруббера газы должны быть разбавлены воздухом в соотношении 1:50 по отношению к максимальному количеству водорода. Рис. 8.4. Скруббер установки эпитаксиального наращивания УНЭС-100: 1–конус распределителя; 2,6–нижняя и верхняя ступени; 3–фильтр; 4–вентиль; 5,13–манометры,; 7–реле протока; 8–блокировочное устройство; 9–микровыключатель; 10–желоб; 11–рычаг; 12–свеча; 14–регулятор давления; 15–запальник; 16–штуцер; 17–бак; 18–гидрозатвор; 19–отработанные газы из реактора. Опишите устройство линейного шагового двигателя (ЛШД) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре. Координатный стол установки выполнен на базе линейного шагового двигателя (ЛШД). Рис. 11.8.Схемадвух координатного линейного шагового двигателя: 1-индуктор;2–канавки;3-плита из диабаза, статор координатного стола;4–лист из магнитомягкой стали; 5–жиклер;6-обмотка;7-магнит. Принцип действия линейного шагового двигателя (рис.11.8) основан на непосредственном преобразовании электромагнитной энергии в поступательное перемещение индуктора, размещенного на магнитной воздушной подвеске над плоской плитой статора.
Статор3 изготовлен из диабаза с наклеенным на нем листом из магнитомягкой стали 4, на верхней поверхности которого вдоль осей X и У нарезании канавки 2. Канавки заполнены немагнитным компаундом, после чего проводится шлифовка, обеспечивающая плоскопараллельность не хуже 5 мкм. Индуктор 1 выполнен в виде группы магнитов 7, заключённых в общий корпус. Магнитопроводы 6,9 и обмотки управления 5,8,предназначены для управления перемещением и позиционированием индуктора относительно пластины статора(Рис.11.9), используя сила магнитного взаимодействия между ними. Зазор между индуктором 1 и листом 4 (15-25 мкм.) создаётся благодаря уравновешиванию сил притяжения, создаваемых постоянными магнитами 7 и сил отталкивания, создаваемых сжатым воздухом, подаваемым под давлением 3*105 Па. через жиклер 5. Это обеспечивает исключение механического трения и точность позиционирования. Опишите фазы основного производства ИС и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
Первая фаза. Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости, резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка. Вторая фаза. Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка, наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное легирование, ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине. Третья фаза. Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация, контроль электро параметров, маркировка, упаковка.
|
||||||||||||||
Последнее изменение этой страницы: 2016-04-07; просмотров: 355; Нарушение авторского права страницы; Мы поможем в написании вашей работы! infopedia.su Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Обратная связь - 3.235.40.122 (0.039 с.) |