Терміни які використовуютья у вакуумній техніці

.	Газ	Cтан речовин, при якому рух молекул практично не обмежений міжмолекулярними силами, так що речовина може займати будь-який доступний простір. Примітки: 1.Під газом розуміють хімічно індивідуальний газ і суміш газів. 2.У вакуумній техніці цей термін застосовують до газу, що не конденсується і до пари
	Неконденсуючий газ	Газ, який у всьому діапазоні робочих температур не може бути переведений у фазу, що конденсує, лише шляхом збільшення його тиску
	Парціальний тиск газу	Тиск, який створює хімічно індивідуальний газ, що міститься в газовій суміші, дорівнює тиску, який створював би цей газ, якщо видалити його із займаємого газовою сумішшю об'єму інші гази, за умови збереження первинного об'єму і температури
	Повний тиск газу	Сума парціального тиску компонентів газової суміші.   Примітка. Термін застосовують, якщо термін "Тиск" чітко не вказує на різницю між окремим парціальним тиском і їх сумою
	Тиск газу на обмежуючу поверхню	Нормальна складова сили, що діє з боку газу на обмежуючу поверхню, поділена на площу цієї поверхні. Примітка. За наявності потоку молекул газу вказують орієнтацію поверхні по відношенню до вектора цього потоку. Термін «Тиск» без додаткових визначень означає статичний тиск в газі при його сталій течії
	Тиск в певній точці газового простору	Швидкість перенесення нормальної складової кількості руху, пов'язаного з рухом молекул в обох напрямах через майданчик на уявній площині, що проходить через цю точку, поділена на величину цього майданчика. Примітка. За наявності потоку молекул газу вказують орієнтацію плоскості по відношенню до вектора цього потоку
	Кількість газу	Добуток об'єму, що займає газ, який знаходиться в рівноважному стані, на його тиск
	Пар	Газ, верхня межа робочих температур якого нижча за критичну температуру зріджування
	Насичена пара	Пар, що знаходиться при даній температурі в термодинамічній рівновазі з однією з фаз даної речовини, що конденсують
	Тиск насиченої пари	Тиск пари, що знаходиться при даній температурі в термодинамічній рівновазі з однією з його фаз, що конденсують
	Ненасичений пар	Пар, тиск якого менше тиску насиченого пара даної речовини при заданій температурі
	Міра насичення пари	Відношення тиску пари до тиску насиченої пари
	Молекулярна концентрація	число молекул газу в одиниці об'єму
	Молекулярна концентрація даного компонента	число молекул заданого компонента в одиниці об`єму
	Щільність газу	маса одиниці об'єму газу
	Щільність газу, приведена до одиниці тиску	щільність газу, поділена на його тиск
	Довжина вільного пробігу молекул	Довжина шляху, пройденого молекулою між двома послідовними зіткненнями з іншими молекулами
	Середня довжина вільного пробігу молекули	Середнє арифметичне значення довжин вільного пробігу молекул
	Число зіткнень молекул в одиницю часу	Середнє арифметичне число зіткнень, яке приходиться на молекулу за одиницю часу при її русі відносно інших молекул
	Дифузія газу	Рух газу в іншому середовищі під впливом градієнта концентрації. Примітка. Середовищем може бути інший газ (в цьому випадку спостерігається взаємна дифузія) або фаза, що конденсується
	Перебіг газу	Переміщення газу в трубопроводі під дією різниці тиску або температур на його кінцях
	В`язкістна течія	Перебіг газу в трубопроводі в умовах, коли середня довжина вільного пробігу молекул дуже мала в порівнянні з найменшим внутрішнім поперечним розміром трубопроводу, так що потік залежить від щільності газу. Примітка. Течія може бути ламінарною або турбулентною
	Пуазейлевська течія	Ламінарна в`язкістна течія в довгій трубі круглого перерізу
	Молекулярна течія	Потік газу в трубопроводі за умов, коли середня довжина вільного пробігу молекул значно перевищує внутрішній розмір поперечного перерізу трубопроводу
	Молекулярно-в’язкістна течія	Течія газу у трубопроводі при умовах, проміжних між ламінарною в'язкістною течією і молекулярною течією
	Еффузійнна течія	Течія газу через отвір, коли найбільший розмір отвору менше середньої довжини вільного пробігу молекул
	Температурна транспірація	Течія газу між з’єднаними ємностями в результаті різниці температур ємностей, результатом якої є поява градієнту тисків
	Потік молекул	Число молекул, що проходять через певний переріз за одиницю часу
	Результуючий потік молекул	Різниця кількості молекул, що перетинають певну поверхню за одиницю часу в одному напрямку, і числа молекул, що перетинають її в зворотньому напрямку
	Густина потоку молекул	Результуючий потік молекул, поділений на площу поверхні, яку він перетинає
	Масовий потік	Маса газу, що перетинає деяку поверхню за одиницю часу
	Об’ємний потік газу	Об’єм газу при вказаних температурі і тиску, що перетенає певну поверхню за одиницю часу
	Молярний потік газу	Число молів газу, що перетенає певну поверхню за одиницю часу
	Розподіл Максвелла по швидкостям	Розподіл по швидкостям, що відповідає функції розподілу Максвелла-Больцмана Примітка. Розподіл Максвелла-Больцмана по швидкостям відповідає розподілу по швидкостям молекул газу, що знаходиться в стані рівноваги при заданій температурі на відстані від стінок ємності ненабагато більшої ніж середня довжина вільного пробігу молекул
	Ймовірність проходження	Ймовірність того, що молекула, що ввійшла через вхідний отвір каналу, вийде через його вихідний отвір і не пройде вхідний отвір в зворотному напрямку
	Провідність елемента вакуумної системи	Властивість, що характеризує відношення потоку газу, який проходить по каналу або через отвір, до різниці тисків у двох вказаних перерізах каналу або по обох боках отвору
	Внутрішня провідність елемента вакуумної системи	Провідність в окремому випадку, коли канал (або отвір) з’єднує дві ємності при умові максвелловського розподілу молекул по швидкостям в обох ємностях. Примітка. У випадку молекулярної течії внутрішня провідність дорівнює добутку провідності вхідного отвору та ймовірності його проходження
	Молекулярна провідність елемента вакуумної системи	Провідність, що визначається відношенням потоку молекул до різниці середнього числа молекул в одиниці об’єму по обох боках отвору або у двох поперечних перерізах каналу
	Опір елемента вакуумної системи	Величина, обернена провідності елемента вакуумної системи
	Сорбція	Захват газу чи пару твердим тілом або рідиною
	Адсорбція	Сорбція, при якій газ або пар утримуються на поверхні твердого тіла або рідини
	Абсорбція	Сорбція, при якій газ дифундує в об'єм твердого тіла або рідини
	Фізична сорбція	Сорбція під дією фізичних сил, при якій не утворюються хімічні зв’язки
	Хемосорбція	Сорбція, при якій утворюються хімічні зв’язки
	Коефіцієнт акомодації	Величина, що визначається відношенням середньої енергії, що реально передається поверхні налітаючими молекулами, до середньої енергії, яка була б передана поверхні налітаючими молекулами, якби вони відірвались від поверхні після досягнення з нею повної теплової рівноваги
	Частота зіткнень	Кількість молекул, що зіштовхуються з одиницею площі за одиницю часу
	Швидкість конденсації	Кількість молекул, що конденсуються на одиниці площі за одиницю часу
	Швидкість прилипання	Кількість молекул, що сорбуються на одиниці площі за одиницю часу
	Ймовірність прилипання	Відношення швидкостей прилипання до частоти зіткнень
	Час утримання	Середній час, напротязі якого молекули утримуються на поверхні в стані сорбції
	Міграція	Рух молекул по поверхні
	Десорбція	Звільнення газів чи парів, сорбованих якимось матеріалом
	Швидкість десорбції	Кількість газу, що десорбується з одиниці площі поверхні за одиницю часу
	Швидкість випаровування	Кількість молекул речовини, яка випаровується з одиниці площі поверхні за одиницю часу
	Просочування	Процес проходження газу через твердий бар’єр. Примітка. Процес включає в себе дифузію газу у твердому тілі та різноманітні поверхневі явища
	Проникність твердої перегородки	Відношення потоку газу через перегородку до потоку газу через той же переріз при відсутності перегородки, що є функцією тисків по обидві сторони перегородки і структури перегородки
	Коефіцієнт проникності газу	Величина, що визначається добутком проникності на відношення товщини перегородки до її площі
	Умовний прохід	Діаметр прохідного розрізу елемента вакуумної системи, що визначає приєднувальні розміри з діючим стандартам

Додаток З

Фізичні величини

Величина	Одиниця
Найменування	Позначення
міжнародне	українське
ОСНОВНІ ОДИНИЦІ СІ
Довжина Маса Час Сила електричного струму Термодинамічна температура Кількість речовини Сила світла	метр кілограм секунда ампер кельвін моль кандела	m kg s A К mol cd	м кг c A   К моль кд
ДОДАТКОВІ ОДИНИЦІ СІ
Плоский кут Тілесний кут	радіан стерадіан	rad sr	рад ср
ПОХІДНІ ОДИНИЦІ СІ, МАЮЧІ СПЕЦІАЛЬНЕ НАЙМЕНУВАННЯ
Величина	Одиниця	Вираження через основні і додаткові одиниці СІ
Найменування	Позначення
міжнародне	українське
Частота Сила Тиск Енергія Потужність Кількість електрики Електричне напруга Електрична ємність Електричний опір Електрична провідність Потік магнітної індукції Магнітна індукція Індуктивність Світловий потік Освітленість Активність радіонукліда Поглинальна доза Іонізуючого випромінювання Еквівалентна доза випромінювання	герц нютон паскаль джоуль ват кулон вольт фарад ом сіменс вебер тесла генрі люмен люкс беккерель грей   зиверт	Hz N Pa J W C V F Ω S Wb T H lm lx Bg Gy   Sv	Гц Н Па Дж Вт Кл В Ф Ом См Вб Тл Гн лм лк Бк Гр   Зв	с^-1 м ∙ кг ∙ с^-2 м^-1∙ кг ∙ с^-2 м^2∙ кг ∙ с^-2 м^2∙ кг ∙ с^-3 с ∙ А м^2∙ кг ∙ с^-3∙ А^-1 м^-2∙ кг^-1∙ с^4∙ А^2 м^2∙ кг ∙ с^-3∙ А^-2 м^-2∙ кг^-1∙ с^3∙ А^2 м^2∙ кг ∙ с^-2∙ А^-1 кг ∙ с^-2∙ А^-1 м^2∙ кг ∙ с^-2∙ А^-2 кд ∙ ср м^-2∙кд ∙ ср с^-1 м^2∙ с^-2 м^2∙ с^-2

 

 

Кратність	Префікс	Позначення	Приклад
українське	міжнародне	українське	міжнародне
10^1	дека	deca	да	da	дал — декалітр
10^2	гекто	hecto	г	h	га — гектар
10^3	кіло	kilo	к	k	кг — кілограм
10^6	мега	mega	М	M	МДж — мегаджоуль
10^9	гіга	giga	Г	G	ГГц — гігагерц
10^12	тера	tera	Т	T	ТВ — теравольт
10^15	пета	peta	П	P	Пфлоп — петафлоп
10^18	екса	exa	Е	E
10^21	зета	zetta	З	Z
10^24	йота	yotta	Й	Y

 

 

Частка	Префікс	Позначення	Приклад
українське	міжнародне	українське	міжнародне
10^-1	деци	deci	д	d	дм — дециметр
10^-2	санти	centi	с	c	см — сантиметр
10^-3	мілі	milli	м	m	мл — мілілітр
10^-6	мікро	micro	мк	µ	мкм — мікрометр, мікрон
10^-9	нано	nano	н	n	нм — нанометр
10^-12	піко	pico	п	p	пФ — пікофарад
10^-15	фемто	femto	ф	f	фс — фемтосекунда
10^-18	ато	atto	а	a
10^-21	зепто	zepto	з	z
10^-24	йокто	yocto	й	y

 

Додаток І

Приклад статті, яку опубліковано авторами за результатами виконаних досліджень

УДК 669.71