Підготовка скляної підкладки

Скляна підкладка - важливий і дорогий компонент індикатора. Жорсткий контроль оптичних і механічних властивостей матеріалу потрібно на кожному етапі технологічного процесу, особливо при нагріванні.

 

Виготовлення скла

Застосовуються два способи виготовлення дуже тонкого скла з точними розмірами і відтворюваними механічними властивостями. У процесі плавлення за технологією Корнінг застосовується скляний стрижень, який розплавляється в клиноподібному жолобі і тече поверх і з боків жолоби. Стікаючи по обидва боки ринви, розплавлене скло з'єднується в лист на дні жолоба, і може витягуватися у вигляді однорідного листа. Товщина листа залежить від швидкості протягання скла. Так можна виготовити лист шириною до 1 м.

Інші виробники скла з відповідними розмірами підкладок рідкокристалічних індикаторів застосовують плаваючий метод виготовлення. Розплавлене скло тече на шар розплавленого олова. Скло не розчиняється і не взаємодіє з металевим оловом, а плаває на поверхні. Це дозволяє силі тяжіння згладити поверхню, а обидва боки стати паралельними (див. Розділ "Скло, кераміка та споріднені матеріали").

 

Є підкладки різних розмірів аж до 450х550 мм і більше. Типова товщина скла для плоских індикаторів дорівнює 1.1 мм. Більш тонке скло застосовується для індикаторів меншого розміру (в пейджерах, телефонах, електронних іграх і т.д.).

Різка, коса заточка, шліфування та полірування

Після виготовлення скла методом плавлення або плаваючим способом скляні підкладки розрізають, зазвичай до 1 м по бічній стороні. Потім в залежності від кінцевої мети застосування матеріалу виконують різні механічні операції.

 

Оскільки скло - крихкий матеріал, легко б'ється або утворює тріщини по краях, скляні підкладки зазвичай обточують, скошують, заокруглені або обробляють іншим способом, що зменшує колкость скла під час технологічних операцій. Термічне напругу на тріщинах по краях накопичується під час обробки підкладок і веде до того, що вони б'ються. Крихкість скляних підкладок - серйозна проблема в процесі виготовлення. Крім того, що працівники можуть отримати різані і рвані рани, втрачається багато придатних пластин. Шматки скла можуть застрявати в обладнанні і спричинити забруднення або пошкодження інших підкладок.

 

Збільшення розміру підкладок ускладнює шліфування. Великі скляні підкладки встановлюють на опори, з використанням воску (парафіну) або іншого адгезиву і шліфуються за допомогою суспензії абразивного матеріалу. Після шліфування обов'язково проводиться ретельна хімічне очищення з метою видалення залишків воску або інших органічних залишків, а також металевих частинок, що містяться в абразивної або шліфувальної середовищі.

Очищення

Очищенню підлягають чисті скляні підкладки і підкладки з нанесеними на них органічними плівками, такими як кольорові фільтри, плівки з полиимидной орієнтацією і т.д. Крім того, очищаються підкладки з нанесеними напівпровідниковими, ізолюючими і металевими плівками на певних етапах технологічного процесу. Очищення необхідна, як мінімум, перед кожним етапом маскування при виготовленні кольорового фільтра або тонкопленочного транзистора.

 

Для очищення більшості плоских індикаторів застосовується комбінація фізичних і хімічних методів, з вибірковим використанням сухих методів. Після хімічного травлення або очищення підкладки зазвичай сушать за допомогою ізопропілового спирту (див. Таблицю 83.8).

 

Таблиця 83.8 Очищення плоских індикаторів

Фізичне очищення	Сухе очищення	Хімічне очищення
Очищення за допомогою щітки	Ультрафіолетовий озон	Органічні розчинники *
Розбризкування	Плазма (з оксиду)	Нейтральне миючий засіб
Ультразвукова	Плазма (без оксиду)
Мегазвукова	Лазер	Чиста вода

* Типові органічні розчинники, що використовуються при хімічному очищенню, включають: ацетон, метанол, етанол, n-пропанол, ізомери ксиліт, трихлоретилен, тетрахлоетілен.