Изготовление и применение датчиков Холла.

Для изготовления датчиков Холла необходимо добиваться следую­щих основных показателей:

а) высокого значения R_x,когда необходимо получить высокое зна­чение э. д. с. Холла в режиме холостого хода;

б) высокой проводимости при заданном значении коэффициента Хол­ла, когда датчик работает на внешнюю нагрузку, потребляющую ток, и часть э. д. с.Холла падает на внутреннем сопротивлении датчика между электродами Холла, обусловливая вредные потери;

в) низкого температурного коэффициента, коэффициента Холла и проводимости.

Материал, из которого изготовляют датчик Холла, должен иметь максимальную подвижность носителей заряда с минимальными темпе­ратурными зависимостями подвижности и концентраций носителей заряда.

Из формулы (6) видно, что для получения наибольшего зна­чения э. д. с. Холла необходимо выбирать материал с небольшой элек­тропроводностью.

Для этой цепи используют пленки селенида и теллурида ртути, антимонида индия и твердые растворы этих соединений. Они обладают высокой подвижностью носителей заряда даже в тонких монокрис­таллических пленках. Тонкопленочные датчики, полученные методом испарения из этих материалов, обладают слабой зависимостью коэффициента Холла и сопротивления от температуры и от напряженности магнитного поля, что определило их широкое применение, несмотря на сравнительно низкую э. д. с. Холла.

Для изготовления датчиков Холла применяют также монокристал­лический германий и кремний, легированные мышьяком, фосфором и сурьмой. Датчики, изготовленные из этих материалов, имеют вы­сокий коэффициент Холла и низкий температурный коэффициент (осо­бенно кремниевые). Максимальная величина э. д. с. Холла достигает 1В.

Применяется для изготовления датчиков Холла антимонид индия, арсенид индия, а также сплав антимонида индия и ангимонида галлия. Датчики, изготовленные из этих материалов, имеют сильную зависи­мость сопротивления и коэффициента Холла от температуры и магнит­ного поля. Это ограничивает их применение.

Из формулы (6) видно, что э. д. с. Холла будет тем выше, чем тоньше образец полупроводника. Поэтому датчики э. д. с. Холла из­готовляют в виде пластинок или тонких пленок, тем более, что с их помощью производится измерение магнитных полей в малых зазорах.

Для получения высокого коэффициента передачи геометрические размеры необходимо выбирать в соотношении l/b = 2¸3.

Полупроводниковый слиток разрезается на пластины, которые посредством шлифовки доводятся до требуемой толщины. Далее пластины разрезают на прямоугольники нужных размеров, которые снабжают четырьмя омическими контактами. Два из них предназна­чены для подведения к датчику напряжения от внешнего источника. Они выполняются по всей ширине пластины, чтобы получить равно­мерное распределение входного тока по сечению пластины на всей ее длине. Два других электрода предназначены для регистрации э. д. с. Холла.

Эти контакты должны быть расположены строго в одном сечении, в противном случае между ними будет возникать разность потенци­алов и при отсутствии магнитного поля за счет протекания тока.

Учитывая, что выходной ток очень мал, иногда выходные электроды выполняют точечными. Из теллурида и селенида ртути датчики Холла могут быть изготовлены также прессованием порошков при температу­ре около 500 К.

Пленочные датчики изготавливают посредством нанесения тонких пленок на подложку методом вакуумного испарения исходного мате­риала.

Материалом подложки могут служить слюда, керамика или другие изоляционные материалы. Материал подложки должен обеспечить хо­рошую адгезию напыляемого материала и иметь с ним близкий темпе­ратурный коэффициент линейного расширения.