Основні результати і впровадження

1. Авторами розв’язано важливу комплексну науково-технічну проблему – створення нових класів мікроелектронних датчиків нового покоління для високоефективних інтелектуальних систем та самих систем з інтегрованими в них датчиками широкого народногосподарського призначення та в інтересах безпеки держави.

2. В роботі вперше виявлено, вивчено і використано ряд нових механізмів впливу фізичних, хімічних та біологічних чинників на чутливі елементи датчиків, що дало можливість цілеспрямованого формування мікро- і наноструктурованих функціональних матеріалів і структур на їх основі та застосовування нових принципів і науково-технічних підходів у створенні мікроелектронних датчиків нового покоління з високими основними характеристиками – чутливістю, селективністю, стабільністю

та довговічністю і досягти кардинального поліпшення якості первинного сигналу для інтелектуальних систем.

3. Створено уніфіковані, високочутливі і селективні вимірювальні канали для перетворення, аналогової і цифрової обробки сигналів, які зв’язують чутливий

елемент мікроелектронного датчика з засобами інтелектуальної обробки отриманої інформації (комп’ютером).

4. Реалізовано прогресивні технології формування чутливих елементів для перетворення в електричний сигнал в режимі on-line величин, що визначаються, з подальшою їх обробкою інтелектуальними системами.

5.Розроблені технології є основою для вітчизняного конкурентоспроможного виробництва високоефективних мікроелектронних датчиків для інтелектуальних систем широкого використання, що дозволяє виключити імпорт коштовних аналогів.

6. В результаті виконання комплексної роботи, яка охоплює період 1985–2010 рр., розроблено наукову базу із використання оптичних, акустоелектронних, напівпровідникових, електромеханічних, біофізичних, явищ і ефектів, створено понад чотири десятка типів датчиків нового покоління для інтелектуальних систем і самих систем з інтегрованими у них датчиками. Організовано орієнтоване на ресурси України серійне виробництво, зокрема у ВАТ «Мередіан» імені С.П.Корольова, і широке впровадження у різні галузі промисловості, медицини, сільського господарства, охорони навколишнього середовища, науки та оборони України. Зокрема, анемометри типу МАРК-60 встановлені в усіх аеропортах України, що є основною ланкою в системі безпеки польотів повітряних суден, як цивільного, так і військового призначення.Впроваджено понад 30 нових типів датчиків і інтелектуальних систем з інтегрованими в них датчиками, частина з яких є унікальними і імпортнозамінними.

Ряд розробок впроваджено за кордоном. Зокрема, НВЧ-сенсори застосовуються при розробці вимірювальних систем у рамках міжнародного проекту “Аліса” (ЦЕРН, Швейцарія), сенсори газів – в компанії “Paradox Group” (Нідерланди), анемометри типу МАРК-60 тривалий час успішно експлуатуються в аеропортах і метеостанціях Росії, Білорусії, Польщі, а портативна інтелектуальна система “Флоратест” для експрес-діагностики стану рослин замовлена 15 фірмами і установами країн Європи і

Південно-східної Азії.Прилади і системи неодноразово демонструвалися на міжнародних (CeBIT -2003, -2007, -2008, Ганновер-Мессе -1997–2000, 2005–2010 (Німеччина), Expo-2000, -2003, -2006), «Дні науки і техніки України» (КНР -2003, -2006; Індія -2004) національних

(Барвиста Україна 2008–2010, «Високі технології» -2006, -2009, -20010) та регіональних виставках і відзначені дипломами.

Приклади мікроелектронних датчиків і систем промислового, медичного і сільськогосподарського призначення наведені фотографіями на рис. 2, 3, 4.

Рис. 2 Мікроелектронні датчики тиску для промисловості	Рис. 3 Вимірювальний модуль внутрішньочерепного тиску

За результатами виконаних у ході роботи досліджень захищено 11 докторських і 25 кандидатських дисертацій, видано 7 підручників і посібників для ВНЗ з грифом МОН.

Основні науково-технічні результати роботи опубліковано у 14 монографіях, більш як у 500 публікаціях у наукових виданнях, в тому числі 218 у міжнародних, що містяться у науковометричній базі SCOPUS з сумарним імпакт-фактором 250,986, загальним ідентифікатором SJR рівним 17,555 та індексом цитування 3053,4404.

Новизна та конкурентоспроможність технічних рішень захищені 87 авторськими

свідоцтвами і патентами України та міжнародними патентами.Економічний ефект від впроваджень розробок в Україні без врахування впроваджень у спецтехніку та в діагностичні комплекси медичних центрів і установ НАН України склав близько 50 млн грн., що підтверджено більш ніж 40 актами впроваджень.