Начало разработки: 01.01.2006 г.

Окончание разработки: 31.12.2010 г.

Назначение, область применения, краткое описание объекта.

I. Цель исследования.

II. Задачи исследования.

III. Изучаемые явления.

IV. Объект исследования

V. Методы исследования

* Теоретические расчеты и моделирование.

* Рентгеновские микро- и фазовые анализы.

* Электронная сканирующая микроскопия.

* Атомно-силовая микроскопия.

* Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.

* Измерения электрофизических свойств.

* Измерение механических свойств.

* Метод ультразвукового воздействия.

VI. Используемые средства

· Бинокулярный микроскоп.

· Приборы для измерения электрофизических свойств (тераомметр, измеритель емкости и тангенса угла диэлектрических потерь Е7-12).

· Печи отжига СНОЛ.

· Вакуумные напылительные установки

VII. Научная новизна и практическая значимость

Научная значимость.

Практическая значимость.

Цель патентно-информационной проработки НИР

Основная (аналитическая) часть

Материалы, отобранные для анализа.

Сведения об изобретениях по теме:

“М икромеханические, микроэлектромеханические и микросенсорные системы ”.

1. МПК⁶ H 01H 59/00. Электростатическое микрореле. Пат. РБ 2491, заявл. 18.03.97. ОБ 98, № 4, с. 187. Ефремов Г.И., Мухуров Н.И.

Микрореле имеет объемную компоновку и содержит диэлектрические подложку с неподвижными электродом и контактом, якорь с подвижными электродом и контактом, рамку. Якорь дополнительно выполняет роль механического усилителя электрических сил F. Он размещен в углублении подложки и упирается в его боковые стороны упругими держателями, от реактивной силы которых, превосходящих критическую, якорь упруго синусоидально разгибается, удаляясь вершиной от неподвижного электрода на расчетную величину. Под действием F якорь за счет малой кривизны легко дополнительно деформирует держатели, выпрямляется и мгновенно замыкает контакты. Микрореле обеспечивает надежность срабатывания в диапазоне от микро до макро.

2. МПК⁶ H 01H 59/00. Электростатическое микрореле. Пат. РБ 2667, заявл. 24.10.96. 06 99, № 1, с. 159-160. Григоришин И.Л., Ефремов Г.И., Мухуров Н.И.

Микрореле содержит диэлектрические подложку с двухступенчатым углублением, неподвижными электродом и контактами и пластину с упругим якорем, упругими «елочными» держателями, подвижными электродом и контактами. Контакты размещены за пределами электродов. Межконтактное расстояние меньше межэлектродного. Конструкция обеспечивает равномерность усилия в контактах, исключение короткого замыкания электродов, снижение влияния наведенных зарядов на рабочий цикл.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

АНАЛИЗ НОВИЗНЫ И ЗНАЧИМОСТИ РАССМАТРИЕВАЕМОЙ ПРОБЛЕМЫ В СРАВНЕНИИ С ДОСТИЖЕНИЯМИ МИРОВОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ

Регламент поиска по заданной проблеме выполнен в полном объеме и без пробелов.

В результате поиска обработано для последующего анализа ряд документов и научных публикаций, релевантных предмету и цели поиска.

Проведенный анализ отечественной и зарубежной патентной и научно-технической информации показал, что проблема выбора и разработки перспективных микромеханических, микроэлектромеханических микроструктур и микросенсоров с пленочными чувствительными элементами на основе алюмооксидной технологии для мобильных устройств остается актуальной. Данные отечественной и зарубежной литературы показывают, что вопросы исследования электрических и механических свойств тонких слоев анодного оксида алюминия для определения возможностей целенаправленного модифицирования применительно к конкретным конструктивным решениям являются актуальными.

Ожидаемые результаты планируемой НИР.

В результате выполнения проекта предполагается разработать …, создать … макетные образцы …

В научном плане....

В практическом плане...

Область применения.